УЧЕБНИК ,gля ВЫСШЕИ школы
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ТЕОРИЯ
И ПРАКТИКА
2-е издание,
переработанное и дополненное
Утверждено
Министерством образования
Республики Беларусь
в качестве учебника
для студентов высших учебных заведений
по специальностям
«Микро- и наноэлектронные технологии и системы»,
«Квантовые информационные системы»,
«Нанотехнологии и наноматериалы
в электронике»
Москва
БИНОМ. Лаборатория знаний
УДК 621. 382(075. 8)
ББК 32. 844. 1
Б82
С ер и я о с н о в а н а в 2009 г. Борисенко В. Е. Б82 Наноэлектроника: теория и практика учеб-
ник / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, А. Л. Дани
люк, Е. А. Уткина. - 2-е изд. , перераб. и доп. -
М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. -366 с. :
ил. - (Учебник для высшей школы). ISBN 978-5-9963-1015-9
Подробно рассмотрены фундаментальные физические эф
фекты и электронные процессы, характерные для нанораз
мерных структур. Описаны принципы функционирования и
типы наноэлектронных приборов для обработки информа
ции. Приведены нанотехнологические подходы, позволяю
щие формировать приборные структуры наноэлектроники и
спинтроники. Нар. яду с обновленным и расширенным теоре
тическим материалом предыдущего издания в данное издание
включены практические задачи и контрольные вопросы для
самопроверки, призванные закрепить изучаемый теоретиче
ский материал.
Для студентов, магистрантов и аспирантов, профессио
нально ориентированных на карьеру в области современной
электроники и нанотехнологий. УДК 621. 382(075. 8)
ББК 32. 844. 1
Учебное издание
Серия: «Учебник для высшей школы•
Борисенко Виктор Евгеньевич
Воробьева Алла Ильинична
Данилюк Александр Леонидович
Уткина Елена Апполинарьевна
НАНОЗЛЕКТРОНИКА: ТЕОРИЯ И ПРАКТИКА
Учебник
Ведущий редактор канд. хим. наук Д. К. Новикова
Редактор С. Ф. Селиверстова
Технический редактор Е. В. Денюн:ова
Корректор Д. И. Мурадян
Компьютерная верстка: Е. А. Голубова
Подписано в печать 11. 09. 12. Формат 60х90/16. Усл. печ. л. 23. Тираж 1000 экз. Заказ 1620. Издательство «БИНОМ.