Читать онлайн «Технология больших гибридных интегральных схем : метод. указания и контр. задания для студентов специальности 1-41 01 02 «Микро-и наноэлектр. технологии и сиcтемы» заоч. и дистанц. форм обучения»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Кафедра микро- и наноэлектроники Р УИ Технология больших гибридных интегральных схем Методические указания и контрольные задания БГ для студентов специальности 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и сиcтемы» заочной и дистанционной форм обучения а ек т ио бл Би Минск БГУИР 2009  УДК 621. 382. 8. 049. 776(075. 8) ББК 32. 844. 1я73 Т38 Составитель В. В. Шульгов Р УИ БГ а ек т Технология больших гибридных интегральных схем : метод. ио Т38 указания и контрол. задания для студ. спец. 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и сиcтемы» заоч. и дистанц. форм обуч. / сост. В. В. Шульгов. – Минск : БГУИР, 2009. – 16 с. бл Излагается содержание дисциплины «Технология больших гибридных интегральных схем». К каждому разделу даны литература и методические указания по изучению материала. Приведен перечень вопросов для контрольной работы. Би УДК 621. 382. 8. 049. 776(075. 8) ББК 32. 844. 1я73 © Шульгов В. В. , составление, 2009 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2009 2  ВВЕДЕНИЕ Программа дисциплины соответствует учебному плану в объеме 48 лекционных часов. В процессе изучения дисциплины студент выполняет одну контрольную работу в виде письменных ответов на два вопроса. К экзамену студент допускается только после зачета по контрольной работе. Распределение лекционных часов по разделам дисциплины Название раздела Количество лекционных часов Р Раздел 1. Понятие о БГИС. История развития 2 Раздел 2. Производственный УИ 4 и технологический процессы Раздел 3. Основания БГИС 4 Раздел 4. Технологические процессы формирования топологии пленочных 8 БГ элементов БГИС Раздел 5.