М И Н И СТ Е РСТ В О О БРА ЗО В А Н И Я РО ССИ Й СК О Й Ф Е Д Е РА Ц И И
В О РО Н Е Ж СК И Й ГО СУ Д А РСТ В Е Н Н Ы Й У Н И В Е РСИ Т Е Т
С Т А Т ИС Т ИК А Э Л ЕК Т Р О Н О В И Д Ы Р О К
В П О Л У П Р О В О Д Н ИК А Х
У чебноепособи е
по лекци онномукурсу
«Ф и зи каполупроводни ков»
Специ альност ь 014100-
«М и кроэ лект рони каи
полупроводни ковы епри боры »
(О П Д . Ф . 02)
В О РО Н Е Ж
2003
2
У т верж дено научно-мет оди чески м совет ом ф и зи ческого ф акульт ет а
9 января 2003 г. (прот окол№ 1). Сост ави т ели : Бормонт овЕ . Н . ,
Х ухрянски й М . Ю . У чебноепособи еподготовлено накаф едреф и зи ки полупроводни ков
и ми кроэ лект рони ки ф и зи ческого ф акульт ет а В оронеж ского
государст венного уни верси т ет а. Рекомендует ся для ст удент ов3 курсаф и зи ческого ф акульт ет а.
3
Содерж ани е
В ведени е… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4
1. Распределени еквант овы х сост ояни й взонах… … … … … … … … … … 5
2. Распределени еФ ерми –Д и рака… … … … … … … … … … … … … … … … 6
3. К онцентраци я э лект ронови ды рок взонах… … … … … … … … … … . … 7
4. К онцентраци я носи т елей заряданалокальны х уровнях… … … … … … 12
5. О пределени еполож ени я уровня Ф ерми … … … … … … … … … … … … . . 14
5. 1. У равнени еэ лект ри ческой ней тральности … … … … … … … … … . … 15
5. 2.
У ровень Ф ерми всобст венном полупроводни ке… … … … … … … . 17
5. 3. П олупроводни ки спри месью одного ти па… … … … … … … … … . . 18
5. 4. В заи мная компенсаци я донорови акцепторов… … … … … … … … 20
5. 5. К омпенси рованны еполупроводни ки … … … … … … … … … … … ... 21
6. П ракт и чески езадани я… … … … … … … … … … … … … … … … … … . … . . 25
К онт рольны евопросы … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 30
4
В в едение
Зонная т еори я твердого т ела позволяет рассмотрет ь разли чны е
возмож ны е квантовы е состояни я в кри ст алле, т. е. разли чны е ти пы
ст аци онарны х дви ж ени й э лектронов. В т ермоди нами чески равновесном
состояни и для данного полупроводни кового образца при заданной
т емперат уре сущ ест вует определенное распределени е э лектронов по
разли чны м квантовы м состояни ям. В результ ат е в кри ст алле
уст анавли вается определенная концентраци я свободны х э лект ронов n в
зоне проводи мости и концентраци я свободны х ды рок р в ды рочной
(валент ной ) зоне. К ромет ого, вкри ст алле, содерж ащ ем локальны е уровни
э нерги и (при месны е ат омы и ст рукт урны е деф ект ы ), могут бы т ь ещ е
от ри цат ельно заряж енны е акцепт оры , на которы х в каж дой еди ни це
объема находи т ся некот орое коли чест во связанны х э лект ронов nt , и
полож и т ельно заряж енны едоноры , содерж ащ и енекот орую концентраци ю
связанны х ды рок pt .