Читать онлайн «Изучение колебательных свойств аморфного кремния методом ИК-спектроскопии: Лабораторная работа по курсу ''Физика аморфных и нанокристаллических полупроводников''»

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ РФ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО» ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ Кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники ИЗУЧЕНИЕ КОЛЕБАТЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИК-СПЕКТРОСКОПИИ (лабораторная работа по курсу «Физика аморфных и нанокристаллических полупроводников») Нижний Новгород, 2007  2 Учебно-методические материалы подготовлены в рамках инновационной образовательной программы ННГУ: Образовательно-научный центр «Новые многофункциональные материалы и нанотехнологии» Национального проекта «Образование» УДК 539. 213. 2:537. 311. 33/621. 382 Изучение колебательных свойств аморфного кремния методом ИК- спектроскопии: Лабораторная работа по курсу «Физика аморфных и нанок- ристаллических полупроводников» / Сост. А. В. Ершов, А. И. Машин, И. А. Карабанова. – Н. Новгород: ННГУ, 2007. – 24 с. Настоящее описание предназначено для студентов старших курсов физиче- ского факультета ННГУ, обучающихся по специальности 210601 – «Нанотех- нология в электронике». Рис. 19. Табл. 3. Составители: канд. физ. -мат. наук, доцент А. В. Ершов докт. физ. -мат наук, профессор А. И. Машин ведущий электроник И. А. Карабанова Рецензент: канд. физ. -мат. наук, зам. зав. лабораторией физики и тех- нологии тонких пленок НИФТИ ННГУ Ю. И. Чигиринский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 2007  3 Цель настоящей лабораторной работы – практическое освоение физи- ческих основ инфракрасного (ИК) поглощения колебаниями атомов примеси в аморфном кремнии. Предметом изучения являются пленки аморфного кремния, полученного как в безводородной атмосфере (a-Si), так и гидроге- низированного a-Si:H. ВВЕДЕНИЕ Большой интерес в настоящее время представляет изучение колеба- тельных свойств атомов примесей в аморфном кремнии, таких как H, O, N, C и других. Интерес к колебательным спектрам ИК-поглощения, ИК- отражения и комбинационного рассеяния (КР) заключается в возможности получать качественную информацию о химическом составе, а также о строе- нии, конфигурации и конформации, т. е. позволяет изучать фундаментальные характеристики ближнего порядка (БП). Особая актуальность этих исследо- ваний связана с разработкой и совершенствованием технологии получения a- Si:H и его применением в современной оптоэлектронике. Пленки аморфного кремния и его сплавов обычно содержат ~ 1 ат. % посторонних примесей O, N, C, что обычно связано как с натеканием в ваку- умную систему воздуха, так и с адсорбцией примесных атомов и молекул на стенках вакуумной системы до начала технологического процесса.