Читать онлайн «Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и на»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Кафедра микро- и наноэлектроники Р УИ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ИС БГ Методические указания по дисциплине «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных а интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» ек (раздел «Маршрутная технология интегральных схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» т заочной формы обучения ио бл Би Минск 2007 УДК 621. 382. 8 (075. 8) ББК 32. 844. 11 я 73 Т 38 С о с т а в и те л и : А. Г. Черных, С. В. Ригольд Р УИ Т 38 БГ Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел а «Маршрутная технология интегральных схем») для студ. спец. I-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. формы обуч. / ек cост. А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2007. – 23 с. Методические указания содержат программу по изучению дисциплины т «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Маршрутная технология интегральных ио схем»), а также требования к выполнению и оформлению курсовой работы. Приведены вопросы для самоконтроля и рекомендуемая литература по темам дисциплины. бл УДК 621. 382. 8(075. 8) ББК 32. 844. 11 я 73 Би © Черных А. Г. , Ригольд С. В. , составление, 2007 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2007  СОДЕРЖАНИЕ 1 Общие указания ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 4 2 Содержание дисциплины по темам ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 5 3 Вопросы для самоконтроля... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 9 4 Задание по курсовой работе... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 11 5 Указания по выполнению и оформлению курсовой работы... ... ... ... ... ... ... ... ... 13 Литература ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 16 Приложение 1 Форма задания на курсовую работу ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 17 Приложение 2 Структура элемента ИС... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 19 Р УИ БГ а ек т ио бл Би 3  1 ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ Современная технология интегральных схем (ИС) базируется на новейших достижениях в области физики, химии, материаловедения, автоматизации и управления.