Читать онлайн «Получение многослойных оптических покрытий методом электронно-лучевого испарения: Лабораторный практикум для магистров»

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО» ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ Кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники ПОЛУЧЕНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯ (Лабораторный практикум для магистров) Нижний Новгород, 2007  2 Учебно-методические материалы подготовлены в рамках инновационной образовательной программы ННГУ: Образовательно-научный центр «Новые многофункциональные материалы и нанотехнологии» Национального проекта «Образование» УДК 621. 315. 592:61 Получение многослойных оптических покрытий методом электроннолучево- го испарения / Лаб. практикум для магистров / Сост. А. В. Ершов, А. И. Ма- шин. - Н. Новгород, ННГУ, 2007. - 36 с. Практикум включает в себя: теоретическое изучение физических принципов работы многослойных интерференционных покрытий, их назначение и клас- сификация, требования к оптическим покрытиям; практическое освоение ме- тодов расчета и проектирования многослойных интерференционных покры- тий; практическое освоение технологических приемов и навыков получения многослойных интерференционных оптических покрытий; практическое ос- воение методик спектрофотометрических измерений параметров сформиро- ванных покрытий; анализ полученных результатов, оформление отчетов о проделанной работе. Рис. 17. Табл. 5. Составители: канд. физ. -мат. наук, доцент А. В. Ершов докт. физ. -мат. наук, профессор А. И. Машин Рецензент: канд. физ. -мат. наук, доцент О. Н. Горшков Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 2007  3 ВВЕДЕНИЕ Развитие оптики многослойных тонкопленочных покрытий тесно свя- зано с прогрессом в оптоэлектронике и квантовой электронике, оптическом приборостроении, спектроскопии и голографии. Интерференционные покры- тия применяют для получения высоких коэффициентов отражения (зеркаль- ные покрытия), для увеличения пропускания и контрастности (просветляю- щие покрытия), для спектрального и энергетического разделения и сложения оптических сигналов и их хроматической коррекции (узко- и широкополос- ные отрезающие фильтры), для изменения поляризации излучения (интерфе- ренционные поляризаторы). В последние годы достигнуты значительные успехи в разработке мето- дов получения многослойных интерференционных покрытий по тонкопле- ночной технологии. Наряду с традиционными методами термического рези- стивного испарения в вакууме, широкое распространение получил метод электроннолучевого испарения, позволяющий получать пленки и покрытия на основе тугоплавких оксидов металлов и полупроводников.