Читать онлайн «Технология БГИС : лаборатор. практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» : в 4 ч. Ч. 3 : Технолог. процессы формирования топологии пленочных элементов»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Кафедра микро- и наноэлектроники Р ТЕХНОЛОГИЯ БГИС УИ Лабораторный практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные БГ технологии и системы» В 4-х частях Часть 3 а ек В. В. Шульгов т ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИИ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ио бл Би Минск БГУИР 2010 УДК 621. 3. 049. 776(076. 5) ББК 32. 844. 1я73 Т38 Р УИ Т38 БГ Технология БГИС : лаб. практикум для студ. спец. «Микро- и наноэлектронные технологии и системы». В 4 ч. Ч. 3 : Техноло- гические процессы формирования топологии пленочных элементов / а В. В. Шульгов. – Минск : БГУИР, 2010. – 30 с. : ил. ек ISBN 978-985-488-566-7 (ч. 3). Лабораторный практикум позволяет получить представление о технологи- ческих процессах формирования топологии пленочных элементов БГИС (форми- т рование фоторезистивной маски, травление, электрохимическое осаждение); изучить отдельные операции технологического маршрута и контрольные опера- ио ции после различных этапов изготовления БГИС; получить практические навыки в выборе и расчете технологических режимов отдельных операций. УДК 621. 3. 049. 776(046. 5) бл ББК 32. 844. 1я73 Часть 1 «Алюмооксидная металлизация БГИС» издана в БГУИР в 2000 г. Часть 2 «Алюминиевый корпус для БГИС» издана в БГУИР в 2002 г. Би ISBN 978-985-488-566-7 (ч. 3) © Шульгов В. В. , 2010 ISBN 978-985-444-065-1 © УО «Белорусский государственный ISBN 985-444-065-6 университет информатики и радиоэлектроники», 2010 2  Лабораторная работа №3 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИИ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Цель работы: получить представление о технологических процессах формирования топологии пленочных элементов БГИС (формирование фоторе- зистивной маски, травление, электрохимическое осаждение). Изучить отдель- ные операции технологического маршрута и контрольные операции после раз- личных этапов изготовления БГИС; получить практические навыки в выборе и расчете режимов и параметров отдельных операций технологического мар- Р шрута.