Читать онлайн «Теоретические основы вакуумной техники»

Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана К. Е. Демихов, Н. К. Никулин, Д. А. Калинкин ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н. Э. Баумана в качестве учебного пособия Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2008 Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» УДК 621. 52 ББК 31. 77 Д 304 Рецензенты: Б. Т. Маринюк, Ю. Г. Ромочкин К. Е. Демихов, Н. К. Никулин, Д. А. Калинкин Д 304 Теоретические основы вакуумной техники: Учеб. посо- бие. – М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. – 64 с. : ил. ISBN 978-5-7038-3137-3 Изложены основы молекулярно-кинетической теории газов, теории сорбции, необходимые для понимания процессов, происхо- дящих в вакуумных насосах различного принципа действия и в ва- куумных системах в целом. Приведены понятия и законы, исполь- зуемые при расчете высоковакуумных систем, а также методики определения проводимости их основных элементов при молеку- лярном, вязкостном и переходном режимах течения газа. Рассмот- рены принципы действия основных типов вакуумных насосов. Для студентов 4-го и 5-го курсов машиностроительных и при- боростроительных специальностей. УДК 621. 52 ББК 31. 77 ISBN 978-5-7038-3137-3 © МГТУ им.