Читать онлайн «Физические основы микроэлектроники. Методические учебное пособие к лабораторному практикуму»

В. Л. Ткалич, В. Н. Фролков, К. О. Ткачев А. Н. Волченко, А. А. Киянов Физические основы микроэлектроники Санкт-Петербург 2009 МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И ОПТИКИ В. Л. Ткалич, В. Н. Фролков, К. О. Ткачев, А. Н. Волченко, А. А. Киянов Физические основы микроэлектроники Учебное пособие Санкт-Петербург 2009 1 В. Л. Ткалич, В. Н. Фролков, К. О. Ткачев, А. Н. Волченко, А. А. Киянов. «Физические основы микроэлектроники». Методические учебное пособие к лабораторному практикуму – СПб. СПбГУ ИТМО, 2009 – 101с. Пособие соответствует утвержденной учебной программе по направлению 210202 - «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств». Предназначено для студентов, выполняющие работы лабораторного практикума по дисциплине «Физические основы микроэлектроники». Пособие содержит описание лабораторных работ, методические указания по их выполнению, контрольные вопросы и краткий теоретический материал. Предназначено для студентов факультета Компьютерных Технологий и Управления, обучающихся по направлению: 210202 – «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств». В 2007 году СПбГУ ИТМО стал победителем конкурса инновационных образовательных программ вузов России на 2007-2008 годы. Реализация инновационной образовательной программы «Инновационная система подготовки специалистов нового поколения в области информационных и оптических технологий» позволит выйти на качественно новый уровень подготовки выпускников и удовлетворить возрастающий спрос на специалистов в информационной, оптической и других высокотехнологичных отраслях экономики. © Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, 2009. © Ткалич В. Л. , Фролков В. Н. , Ткачев К. О. , Волченко А. Н. , Киянов А. А. 2  Оглавление Введение………………………………………………………………………………………6 Лабораторная работа №1. Исследование p-n переходов интегральных схем………………………………. 7 Лабораторная работа №2. Исследование электрических характеристик биполярных транзисторов…22 Лабораторная работа №3. Исследование температурной зависимости параметров элементов интегральных схем………………………………………………………………………... 57 Лабораторная работа №4. Вольт-фарадные характеристики МОП-структур. ……………………………66 Список литературы. …………………………………………………………………………82 3  ВВЕДЕНИЕ Данное учебное пособие предназначено для студентов, выполняющих работы лабораторного практикума по дисциплине «Физические основы микроэлектроники». Дисциплина «Физические основы микроэлектроники» посвящена рассмотрению физических основ технологических процессов микро- и наноэлектроники (получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии).