Читать онлайн «Лабораторная работа Просвечивающая электронная микроскопия: [учеб. пособие для вузов]»
Автор Б. А. Калина
Федеральное агентство по образованию
МОСКОВСКИЙ ИНЖЕНЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
(ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ)
Б. А. Калин, Н. В. Волков, В. В. Осипов
Лабораторная работа
«ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ»
Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии»
в качестве учебного пособия
для студентов высших учебных заведений
Москва 2007
УДК 539. 2(075)
ББК 22. 37я7
К17
Калин Б. А. , Волков Н. В. , Осипов В. В. Лабораторная работа «Про-
свечивающая электронная микроскопия»: Учебное пособие. – М. :
МИФИ, 2007. – 48 с. В практикуме представлены теоретические основы просвечивающей
электронной микроскопии в рамках лекционного курса «Электронная
микроскопия» и методические указания при выполнении практических
заданий по изучению структуры твердых тел. Пособие рекомендуется студентам старших курсов, обучающихся по
специальности «Физика твердого тела и конденсированного состояния» и
также студентам по другим смежным специализациям. Пособие подготовлено в рамках Инновационной образовательной
программы. Рецензент: к. т. н. , доцент Лошманов Л. П. ISBN 978-5-7262-0824-4
© Московский инженерно-физический институт
(государственный университет), 2007
СОДЕРЖАНИЕ
Введение... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 4
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
1. Рассеяние электронов в твердом теле ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 5
2. Дифракция электронов ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 8
3. Формирование изображения в рассеянных электронах ... ... . . 12
4. Конструкция просвечивающего электронного
микроскопа... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 14
5. Режимы работы просвечивающего микроскопа при
изучении строения материалов ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 20
6. Основы техники приготовления исследуемых объектов ... ... 27
ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
7.
Теоретические вопросы, которые необходимо изучить
для выполнения работы... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 35
8. Содержание работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 35
9. Порядок выполнения работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 36
10. Представление результатов работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 37
11. Методические указания по выполнению работы ... ... ... ... ... ... 38
Контрольные вопросы... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 47
Список литературы... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 48
3
ВВЕДЕНИЕ
Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) предназначен
для исследования структуры образцов. ПЭМ имеет широкое при-
менение, как в материаловедении, так и в медицине, полупровод-
никовой техники и многих других областях.
