Читать онлайн «Вакуумная техника»

А. Н. ПОПОВ ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА Допущено Министерством образования Республики Беларусь в качестве учебного пособия для студентов учреждений высшего образования по техническим специальностям Минск Москва «Новое знание» «ИНФРАМ» 2012 УДК 621. 51/. 52(075. 8) ББК 31. 77я73 П58 Рецензент ы : кафедра «Машины и технологии высокоэффективных процессов обра- ботки материалов» УО «Витебский государственный технологический университет» (зав. кафедрой — доктор технических наук, профессор С. С. Клименков); декан факультета инновационных технологий машиностроения УО «Грод- ненский государственный университет им. Я. Купалы», доктор техниче- ских наук, профессор В. А. Струк Попов, А. Н. П58 Вакуумная техника : учеб. пособие / А. Н. Попов. — Минск : Новое знание ; М. : ИНФРА-М, 2012. — 167 с. : ил. — (Выс­ шее образование). ISBN 978-985-475-500-7 (Новое знание). Рассмотрены основные физико-химические процессы, протека- ющие в вакууме. Описаны методы измерения низких давлений, принципы действия вакуумных насосов и основные типы вакуум- ных систем. Лабораторные работы охватывают основные темы кур- са «Вакуумная техника». Для студентов механических, технологических, физических и других факультетов вузов. Может быть полезно аспирантам, пре- подавателям и инженерно-техническим специалистам, работа ко- торых связана с вакуумной техникой. УДК 621. 51/. 52(075. 8) ББК 31. 77я73 ISBN 978-985-475-500-7 (Новое знание) ©©Попов А. Н. , 2012 ©©ООО «Новое знание», 2012 Оглавление Введение ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 5 Исторический обзор... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 5 Применение вакуума в науке и технике... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 7 1. Основы физики вакуума... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 10 1. 1. Вакуум и давление... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 10 1. 2. Основные газовые законы... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 11 1. 3. Течение разреженных газов... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 16 1. 4. Основное уравнение вакуумной техники... ... ... ... ... ... ... . 17 1. 5. Течение газов через элементы вакуумных систем... ... ... 20 1. 6. Теплопередача в вакууме... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 22 2. Методы измерения низких давлений... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 23 2. 1. Классификация приборов для измерения давления... ... . 23 2. 2. Датчики для абсолютных измерений... ... ... ... ... ... ... ... . . 24 2. 3. Датчики для относительных измерений... ... ... ... ... ... ... . 29 3. Оборудование для получения вакуума... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 38 3. 1.