Читать онлайн «Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие»

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ (СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЕ) Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета Издательство Томского политехнического университета 2011  УДК 537. 5 ББК 30. 61 К82 Кривобоков В. П. К82 Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие / В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев; Том- ский политехнический университет. − Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2011. – 136 с. В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покры- тий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакуу- ме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических про- цессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы пред- варительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пле- нок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства по- крытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 011200 «Физика» и магистров физики, обучающихся по программам: «Физика плазмы», «Пучковые и плазменные технологии», «Водородная энергетика». УДК 537. 5 ББК 30. 61 Рецензенты Кандидат технических наук старший научный сотрудник Института сильноточной электроники СО РАН Н. Ф. Ковшаров Кандидат физико-математических наук старший научный сотрудник Института сильноточной электроники СО РАН К. В. Оскомов © ФГБОУ ВПО НИ ТПУ, 2011 © Кривобоков В. П. , Сочугов Н. С. , Соловьев А. А. , 2011 © Обложка. Издательство Томского политехнического университета, 2011  ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 4 1. ПОДГОТОВКА ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ ПЕРЕД НАНЕСЕНИЕМ ПОКРЫТИЙ ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 5 2.