Читать онлайн «Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие»
Автор Соловьева А.
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования
«ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»
В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А Соловьёв
ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
(МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ)
Учебное пособие
Издательство
Томского политехнического университета
2008
УДК 621. 793. 7(075. 8)
ББК 34. 55:34. 663я73
К82
Кривобоков В. П. К82 Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное по-
собие / В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв. – Томск:
Изд-во Томского политехнического университета, 2008. – 104 с. ISBN 5-98298-191-5
Дается обзор современных методов получения покрытий с использова-
нием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время ме-
тоды нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плаз-
мой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдель-
но представлены основные типы вакуумных технологических установок для
нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образова-
тельной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергети-
ки, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено
для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля. УДК 621. 793. 7(075. 8)
ББК 34. 55:34. 663я73
Рекомендовано к печати Редакционно-издательским советом
Томского политехнического университета
Рецензент
Доктор технических наук, профессор ТУСУРа
Е. М. Окс
ISBN 5-98298-192-3 © Кривобоков В. П. , Сочугов Н. С. , Соловьёв А. А. , 2008
© Томский политехнический университет, 2008
© Оформление. Издательство Томского
политехнического университета, 2008
СОДЕРЖАНИЕ
Введение ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 4
1. Классификация методов нанесения покрытий ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... .
10
2. Ассистированное плазмой химическое газофазное
осаждение покрытий ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 13
2. 1. Методы нанесения покрытий ассистированным плазмой
химическим газофазным осаждением... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 18
2. 2. Конструкции низкоэнергетичных ионных источников... ... ... ... ... . 21
2. 3. Активируемое лазером или электронным пучком химическое
газофазное осаждение покрытий ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 33
2. 4. Фотохимическое газофазное осаждение покрытий ... ... ... ... ... ... ... . 36
3.
