Читать онлайн «Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Факультет компьютерного проектирования Кафедра электронной техники и технологии Р УИ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЛАБОРАТОРНЫЙ ПРАКТИКУМ БГ а ек Рекомендовано УМО по образованию в области информатики и радиоэлектроники в качестве пособия для специальностей 1-36 04 01 «Программно-управляемые электронно-оптические системы», т 1-39 03 01 «Электронные системы безопасности», 1-39 02 02 «Проектирование и производство программно-управляемых ио электронных средств», 1-39 02 01 «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств» бл Би Минск БГУИР 2016  УДК 621. 3. 049. 77(076. 5) ББК 32. 844. 1я73 Ф50 Авторы: А. П. Достанко, Е. В. Телеш, В. Ф. Холенков, А. Ю. Вашуров Р е ц е н з е н т ы: Р кафедра микро- и нанотехники Белорусского национального технического университета УИ (протокол №3 от 26. 11. 2014); декан физического факультета Белорусского государственного университета, БГ доктор физико-математических наук, профессор В. М. Анищик а ек Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Ф50 Лабораторный практикум : пособие / А. П. Достанко [и др. ]. – Минск : БГУИР, 2016. – 63 с. : ил. т ISBN 978-985-543-156-6. ио Включает лабораторные работы по изучению кинетики и механизмов термического окисления кремния и ионного распыления твердых тел, физических процессов в выпрямляющих контактах металл–полупроводник и в плазме тлеющего бл разряда, механизмов токопереноса и размерного эффекта в тонких металлических пленках. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний студентов, получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским Би оборудованием. УДК 621. 3. 049. 77(076. 5) ББК 32. 844. 1я73 ISBN 978-985-543-156-6 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2016 2  СОДЕРЖАНИЕ Лабораторная работа №1.