Читать онлайн «Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем»

Министерство образования и науки Российской Федерации Государственная корпорация «Российская корпорация нанотехнологий» Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники С. В. Смирнов Лабораторный практикум Томск 2010  ББК Смирнов С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : лаб. практикум / С. В. Смирнов. – Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2010. – 97 с. Приведены четыре лабораторные работы, в основу которых положены четыре наи- более распространенных и перспективных физических метода контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктур- ных монолитных интегральных схем – спектрометрическое оценивание толщины тон- ких пленок, рамановская и ИК Фурье-спектрометрия, растровая электронная микроско- пия. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производст- ва наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискрет- ных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология». © Смирнов С. В. , 2010 © Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2010 2  ОГЛАВЛЕНИЕ 1. Лабораторная работа № 1. Спектрометрическое оценивание толщины тонких пленок ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 4 Цель работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 4 Программное обеспечение ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 6 Порядок выполнения работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 7 Расчет ошибок измерений ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 12 Контрольные вопросы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 13 Список литературы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 14 Приложение 1. Значение коэффициента Стьюдента для различных доверительных интервалов ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 14 2. Лабораторная работа № 2. Рамановская спектроскопия ... ... ... ... ... ... ... . . 16 Цель работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 16 Описание экспериментальной установки ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 16 Перечень необходимого оборудования и принадлежностей ... ... ... ... ... ... ... . . 17 Порядок выполнения работы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 17 Задание ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 30 Контрольные вопросы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 30 Список литературы ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 31 3.