Читать онлайн «Проектирование и производство изделий интегральной электроники. Лабораторный практикум»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Факультет компьютерного проектирования Кафедра электронной техники и технологии Р УИ ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ИЗДЕЛИЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ. ЛАБОРАТОРНЫЙ ПРАКТИКУМ БГ а ек Рекомендовано УМО по образованию в области информатики и радиоэлектроники в качестве пособия для специальностей т 1-36 04 01 «Программно-управляемые электронно-оптические системы», 1-39 02 02 «Проектирование и производство программно-управляемых электронных средств» ио бл Би Минск БГУИР 2015 УДК 621. 382-027. 31(076. 5) ББК 32. 85-02я73 П79 А в т о р ы: А. П. Достанко, С. В. Бордусов, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш Р е ц е н з е н т ы: кафедра энергетики и электронной техники учреждения образования Р «Полоцкий государственный университет» (протокол №4 от 17. 12. 2014 г. ); УИ профессор кафедры технологии металлов учреждения образования «Белорусский государственный аграрный технический университет», доктор физико-математических наук, профессор Н. К. Толочко БГ а ек Проектирование и производство изделий интегральной элек- П79 троники. Лабораторный практикум : пособие / А. П. Достанко [и др. ]. – Минск : БГУИР, 2015. – 82 с. : ил. т ISBN 978-985-543-147-4. ио Содержит пять лабораторных работ по изучению и исследованию кон- струкций и технологии тонкопленочных и толстопленочных ГИС и микросборок, формирования диэлектрических пленок методом ионно-лучевого распыления, ла- зерного формообразования отверстий, методов корректировки номиналов тонко- бл пленочных элементов гибридных интегральных схем. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, при- обретения практических навыков работы с оборудованием и изделиями инте- гральной электроники. Би УДК 621. 382-027. 31(076. 5) ББК 32. 85-02я73 ISBN 978-985-543-147-4 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2015  СОДЕРЖАНИЕ Лабораторная работа №1 КОНСТРУКЦИИ И ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И МИКРОСБОРОК………………………………………………... 4 Лабораторная работа №2 КОНСТРУКЦИИ И ТЕХНОЛОГИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И МИКРОСБОРОК………………………………………………... 26 Лабораторная работа №3 ФОРМИРОВАНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ………………………………………………………… 39 Р Лабораторная работа №4 УИ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОТВЕРСТИЙ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ…………………………………………………………………. 50 Лабораторная работа №5 КОРРЕКТИРОВКА НОМИНАЛОВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ БГ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ……………………………………………………… 71 Литература……………………………………………………………………………………… 80 а ек т ио бл Би 3  Лабораторная работа №1 КОНСТРУКЦИИ И ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И МИКРОСБОРОК Цель работы: изучение конструкции элементов гибридных интегральных схем и микросборок, конструкторско-технологических требований и маршрут- ной технологии их изготовления. 1. 1.