Читать онлайн «Техника наноконтроля»

Министерство образования Республики Беларусь БЕЛОРУССКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ Кафедра микро- и нанотехники ТУ БН ТЕХНИКА НАНОКОНТРОЛЯ й ри Лабораторный практикум В 2 частях о ит Часть 2 з по Ре Минск БНТУ 2011  УДК 620. 3(076. 5) ББК 34. 9я7 Т 38 Составители: С. А. Чижик, Т. А. Кузнецова ТУ Рецензенты: Ю. М. Плескачевский, Н. В. Кулешов БН Техника наноконтроля: лабораторный практикум: в 2 ч. / сост. : Т 38 С. А. Чижик, Т. А. Кузнецова. – Минск: БНТУ, 2011. – Ч. 2. – 65 с. й В данном издании приведено продолжение описания лабораторных ри работ по курсу «Техника наноконтроля» в соответствии с учебной про- граммой для студентов старших курсов, обучающихся по специальности: 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники», 1-38 01 04 01 «Микросистемная техника», 1-38 01 04 02 «Наноэлектроме- о ханические системы и машины», 1-38 01 04 03 «Сенсорные микросисте- мы». Вторая часть охватывает калибровку атомно-силового микроскопа, ит измерение высоты топологических слоев субмикронных интегральных микросхем и определение локального модуля упругости тонких слоев ма- териала. Часть 1 вышла в свет в 2009 г. в БНТУ. з по Ре ISBN 978-985-525-537-7 (Ч. 2) ISBN 978-985-525-263-5 © БНТУ, 2011  СОДЕРЖАНИЕ Лабораторная работа № 5 ПРОВЕДЕНИЕ ПРОЦЕДУРЫ КАЛИБРОВКИ АСМ ... ... ... ... ... ... ... ... 4 Лабораторная работа № 6 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СЛОЕВ ТУ СУБМИКРОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ ... ... ... ... ... ... 20 Лабораторная работа № 7 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЛОКАЛЬНОГО МОДУЛЯ УПРУГОСТИ БН МЕТОДОМ СИЛОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 30 й о ри з ит по Ре 3  Лабораторная работа №5 ПРОВЕДЕНИЕ ПРОЦЕДУРЫ КАЛИБРОВКИ АСМ Цель работы: получить представление о процедуре калибровки атомно-силового микроскопа (АСМ), ознакомиться с типами калиб- ровочных решеток, их назначением, получить практические навыки ТУ калибровки АСМ по латеральному (в плоскости) и вертикальному диапазону, получить практические навыки определения реального радиуса закругления острия АСМ.