Читать онлайн «Расчет параметров элементов интегральных микросхем : учебно-методическое пособие»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Факультет радиотехники и электроники Кафедра микро- и наноэлектроники Р Б. С. Колосницын, Д. А. Котов УИ БГ РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ а ек Рекомендовано УМО по образованию в области информатики и радиоэлектроники т в качестве учебно-методического пособия ио для специальности 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» бл Би Минск БГУИР 2017 УДК 621. 3. 049. 77(076) ББК 32. 844. 1я73 К61 Р е ц е н з е н т ы: кафедра радиоэлектроники филиала «Минский радиотехнический колледж» учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Р (протокол №3 от 01. 11. 2014); УИ профессор кафедры микро- и нанотехники Белорусского национального технического университета, доктор технических наук, профессор В. А. Сычик БГ а Колосницын, Б. С. ек К61 Расчет параметров элементов интегральных микросхем : учеб. - метод. пособие / Б. С. Колосницын, Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2017. – 68 с. : ил. т ISBN 978-985-543-268-6. ио Рассмотрены методы проектирования и расчета таких пассивных элементов ИМС, как тонкопленочные и диффузионные резисторы, конденсаторы, бл индуктивности, интегрированные диоды, а также особенности проектирования биполярных структур ИМС. Приведены методики расчета пленочных резисторов, конденсаторов, индуктивностей, проводников и контактных площадок. Рекомендовано для студентов всех форм обучения по дисциплине Би «Полупроводниковые приборы и элементы интегральных микросхем». УДК 621. 3. 049. 77(076) ББК 32. 844. 1я73 ISBN 978-985-543-268-6 © Колосницын Б. С. , Котов Д. А. , 2017 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2017 2  СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1 КОНСТРУИРОВАНИЕ И РАСЧЕТ ПЛЕНОЧНЫХ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1. 1 Общие сведения о подложках и их свойствах. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1. 2 Конструкции пленочных резисторов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Р УИ 1. 3 Расчет пленочных резисторов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 1. 4 Конструкции пленочных конденсаторов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 БГ 1. 5 Расчет пленочных конденсаторов. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 1. 6 Конструкция и расчет пленочных индуктивностей . . . . . . . . . . . . . . 34 1. 7 Расчет пленочных проводников и контактных площадок . . . . . . . . 39 а ек 2 КОНСТРУКЦИЯ АКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ . . . . . 42 2. 1 Конструкция навесных элементов микросхем. . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 т ио 2. 2 Конструирование и расчет диодов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45 2. 3 Особенности топологии интегрированных транзисторов. . . . . . . . . 52 бл 3 КОНСТРУИРОВАНИЕ И РАСЧЕТ ДИФФУЗИОННЫХ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 Би 3. 1 Конструирование и расчет диффузионных резисторов . . . . . . . . . . . 54 3. 2 Конструирование и расчет диффузионных конденсаторов. . . . . . . . 61 ЛИТЕРАТУРА . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67 3  ВВЕДЕНИЕ При конструировании современной радиоэлектронной аппаратуры используются новые разработки в области микро- и наноэлектроники.