Читать онлайн «Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела»

Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела Wolfgang Eckstein Computer Simulation of Ion-Solid Interactions Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York London Paris Tokyo Hong Kong Barcelona Budapest В. Экштайн Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела Перевод с английского М. Г. Степановой под редакцией Е. С. Машковой Москва «Мир» 1995 ББК 22. 833 22. 193 Э43 УДК 537. 534. 7 519. 85 Экштайн В. Э43 Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела: Пер. с англ. -М. : Мир, 1995. -321 с, ил. ISBN 5-03-002506-5 В книге немецкого ученого детально рассмотрен элементарный акт столкновения в твердом теле, описаны различные численные методы интегрирования уравнений движения частиц. Дан анализ потенциалов двухчастичного взаимодействия, используемых в современных компьютерных программах, рассмотрены способы учета неупругих потерь энергии при движении ионов и атомов в твердом теле, способы введения в программы тепловых колебаний атомов твердого тела, характерных энергий. Описаны конкретные программы, основанные как на методе молекулярной динамики, так и на приближении парных столкновений, включая MARLOWE и TRIM. Приведены многочисленные результаты, полученные при моделировании прохождения частиц, отражения ионов, распыления твердых тел и радиационных повреждений. Для специалистов в области физики твердого тела, физики плазмы, микроэлектроники и радиационного материаловедения, а также студентов и аспирантов ББК 22. 833 22. 193 Редакция литературы по информатике Издание осуществлено при финансовом участии Троицкого института инновационных и термоядерных исследований ISBN 5-03-002506-5 (русск. ) © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1991 ISBN 3-540-19057-0 (англ. ) All Rights Reserved. Authorized translation from English language edition published by Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York Tokyo © перевод на русский язык, Степанова М. Г. , 1995 Предисловие редактора перевода В настоящее время успехи, достигнутые в ряде технологических областей, связанных с взаимодействием атомных частиц с твердыми телами, таких, как микроэлектроника, космическое, реакторное и термоядерное материаловедение, а также развитие методов диагностики твердых тел с использованием ионных пучков в значительной степени определяются широким применением методов компьютерного моделирования. В свою очередь результативность методов компьютерного моделирования зависит от достигнутого уровня понимания физики взаимодействия атомных частиц с веществом, эффективности и степени совершенства машинных программ и возможностей современных ЭВМ. Предлагаемая читателю монография написана известным немецким специалистом Вольфгангом Экштайном (Институт физики плазмы им. М. Планка, Гархинг, ФРГ). В книге впервые систематизированы и проанализированы содержащиеся в периодической литературе данные об основных принципах построения программ, используемых как для анализа механизмов различных процессов взаимодействия ионов с веществом, так и для получения конкретных данных, характеризующих эти процессы.