Читать онлайн «Состояние и перспективы развития измерений магнитных параметров плёнок: Обзорная информация»

roСУДАРСТВ ЕШШЙ КOlИТЕТ СССР ПО СТА1ШАРТАМ ВсесоюзвЫЯ Н8УчноисследоваrеЛЬСRИЙ институт техническоЯ информации, RЛSCСифИУЛЦИИ и ЕОИрОБания NЕТРОJIоrИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИЗМЕРЕНИй Обзорная инфОРМВЦИБ СОСТОБние И перспекrивы разБИТИЯ измеренИй uarвитвых параыеТРОБ плевок ТОД оснозавия 1974 5 ВЫПУСЕОВ в roJt Мосма 1987 ВШIУСЕ 5 ВВFJIР. НИЕ ШирОЕое применение маrнитвых пnенок и ПОКРЫТИЙ Б ведущих бластях риоэлеКfРОНИКИ, электронной техники и приборостроения стиwyлирует рвзрабоrку и создание Б СССР и за рубежом мноrочие ленных НОБЫХ рабочих СрСТБ измерения. На ранних стЦ!tиях исслеДОБаний преоблt\1l;МИ попыту. . и исполь. . ЗОБВТЬ rиционцую аппаратуру и повысить ее ЧУВСТБительность. ВпоследсrБИИ, при переходе к более БЫСОКОIlY' уровню мивиатюриза. . ции элемеНТОБ усrроЯсrБ на ыarнитных пленках появилась необходи. . кость Б разрабоrке принципи8ЛЬНО НОБЫХ меТОДИЕ и средств измере ния. Помимо потреdности в выоокой чувствительности Б пооледнее дес. яТИJIетие в связи с массовым выпуском мarнитных пленок раЗJIИЧ-- НЫХ массов ВОЭНИКJIа потреdность в rарантиях достоверности ре. . ЭУJIьтатов измерений их маrнитных параметров . ОДНJ. Ш из критериев выбора должна быть оценка реальных И потенци8ЛЬНЫХ точности И чувсrви тельности. Созданные И рвзрабатываеыые средства измереНИБ нуа. ются в метр6лоrичеСЕОМ обеспечении. Первые шаrи в этом направлении, предпринятые в ШIО "ВНИИМ им. Д. И. Мецделеева l ', позволили aTrec ТОВ8ТЬ crapTHыe образцы пленок и покрытИИ с помощью uаrнито злектричеСЕоrо и М8rнитоопrИЧеСЕоrо методов. Образцовые и исходные образцовые средства измерениИ дают возможность измерять И1!те I'J)8Jiьньrе и локмьные uarнитнне паР6Jlетры ств. ндартннх образцов в стаrичеСЕОМ и :квазистатичеСЕОМ режимах не. ы8rНИЧИВ8НИЯ, что обеcnеЧИ6еr поверку рабочих средств измерения. Эти же CTapr вне образцы ПРИНЦИПИ8JIЬНО MOryT примеНБТЬСЯ для ПоверЕИ рабочих средств измерения, основанных на использовании маrнитомеханичес Koro меrода и метода ферромаrнитноrо резонанса. В данном обзоре рассматриваюrоя только основные меrоды из мерения маrнитвых Паракетров пленок  мвrяитозлеЕтричеСЕИй. Mar НИfомехавический, каrвиrоопrичеСЕИй и каrнитореЗОН8ВСSыЯ с точки зрения оцеНЕИ их реМЬННХ и потенциальных возможностей. Посколь-- ку U8rlDIтомеханичеСЕИй и ыarниторезонанснЫИ меrоды применяются rлавныw Образом в лабораорвых УСЛОВИБХ, целесообразно осrановиrь ся лишь на uаrнитоизмерительных уста. нОВЕ8Х, основанных на маrни rоэлеЕтричесом и маrнИтооптических методах. ОБЦИЕ СВFJIЕНИЯ О МA. rНИТНШ ПЛЕНКАХ Классификация мarнитНъtХ плеНОЕ ПОJ:IRrия "плеНЕ а" или "ПОЕрытие" СВБзаны, rлавным образом, с преДСТ8J!лением о форме изделия или образца, один из размеров ко...