Читать онлайн «Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе»

УДК 537. 53 ББК 30. 61 Т 23 Т а т а р е н к о Н. И. , К р а в ч е н к о В. Ф. Автоэмиссионные нанострук- туры и приборы на их основе. — М. : ФИЗМАТЛИТ, 2006. — 192 с. — ISBN 5-9221-0695-3. В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития ва- куумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе на- нопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характе- ристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изло- жены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характе- ристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспи- рантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физиче- ской электроники, микро- и наноэлектроники. Реце нз е н т ы : 1. Заслуженный деятель науки РФ, доктор физико-математических наук, профессор В. В. Мериакри, ИРЭ РАН. 2. Доктор физико-математических наук, профессор Е. П. Шешин, Москов- ский физико-технический институт. Научное издание ТАТАРЕНКО Николай Иванович КРАВЧЕНКО Виктор Филиппович АВТОЭМИССИОННЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ И ПРИБОРЫ НА ИХ ОСНОВЕ Редактор Е. С. Артоболевская Оригинал-макет: О. А. Кузнецов Оформление переплета: А. Ю. Алехина  Подписано в печать 13. 03. 06. Формат 60 90/16. Бумага офсетная. Печать офсетная. Усл. печ. л. 12. Уч. -изд. л. 13,2. Тираж 500 экз. Заказ № Издательская фирма «Физико-математическая литература» МАИК «Наука/Интерпериодика» 117997, Москва, ул. Москва, Шубинский пер. , 6    c ФИЗМАТЛИТ, 2006 ISBN 5-9221-0695-3  c Н. И. Татаренко, В. Ф. Кравченко, 2006  ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Г л а в а 1. Анализ современного состояния и тенденций развития вакуумных автоэлектронных микроприборов . . . . . . . . . . . . . 9 § 1. 1. Существующие конструктивно-технологические принципы со- здания автоэмиссионных катодов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 § 1. 2. Вакуумные автоэлектронные микроприборы . . . . . . . . . . . . . . 22 § 1. 3. Автоэмиссионные наноструктуры . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 1. 3. 1.