Читать онлайн «Специальные методы измерения физических величин»

Автор М. Т. Баранов, Т. А. Костяева, А. В. Прудникова

А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. П. Литвин, С. А. Черевков Специальные методы измерения физических величин Учебное пособие Санкт-Петербург 2014 МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И ОПТИКИ А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. П. Литвин, С. А. Черевков Специальные методы измерения физических величин Санкт-Петербург 2014 2 Федоров А. В. , Баранов А. В. , Литвин А. П. , Черевков С. А. Специальные методы измерения физических величин. Учебное пособие. – СПб: НИУ ИТМО, 2014. – 127 с. Рис. 78. Библ. 127. В учебном пособии рассматриваются современные экспериментальные методы изучения наноструктур, включая электронную и атомно-силовую микроскопию, рентгеновскую спектроскопию, а также стационарную и нестационарную оптическую спектроскопию. Учебное пособие предназначено для обучения магистров по направлению 200700 «Фотоника и оптоинформатика» в рамках Магистерской программы 200700. 68 «Физика наноструктур» для изучения дисциплины «Специальные методы измерения физических величин». Материал может быть рекомендован для студентов старших курсов физико-технических специальностей, а также при подготовке магистров и аспирантов, специализирующихся в области применения оптических методов в нанотехнологиях. Рекомендовано УМО вузов Российской Федерации по образованию в области приборостроения и оптотехники для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки магистратуры 12. 04. 03 (200700) «Фотоника и оптоинформатика». Протокол заседания Президиума УМО № 2 от 09. 04.
2014. © Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 2014 © Федоров А. В. , Баранов А. В. , Литвин А. П. , Черевков С. А. 2014 3 О ГЛ А В ЛЕ Н И Е ВВЕДЕНИЕ 8 Список основных обозначений 9 РАЗДЕЛ 1. НАНОСТРУКТУРЫ. МЕТОДЫ И ТЕХНИКА 11 ИССЛЕДОВАНИЯ И ДИАГНОСТИКИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ОБЪЕКТОВ Глава 1. Общие представления о наноструктурах, методах и 11 технике исследования и диагностики нанообъектов § 1. 1. Типы наноструктур 11 § 1. 2. Технологии формирования наноструктур 18 1. 2. 1. Нанолитография 19 1. 2. 2. Молекулярно-лучевая эпитаксия 20 1. 2. 3. Осаждение из газовой фазы 21 1. 2. 4. Металлоорганический синтез коллоидных квантовых 23 точек § 1. 3. Методы определения морфологии наноструктур 24 1. 3. 1. Электронная микроскопия 24 1. 3. 2. Сканирующая туннельная и атомно-силовая 28 микроскопия 1. 3. 3.