^5??. B7
В. И. КУЗНЕЦОВ, Н. Ф. НЕМИЛОВ,
В. Е. ШЕМЯКИН
ЭКСПЛУАТАЦИЯ
ВАКУУМНОГО
ОБОРУДОВАНИЯ
Под общей редакцией
Р. А. Нилендера
v-) l
I &
ч
МРСКРД «ЭНЕРГИЯ» 1?78
ББК 31. 77
К 89
УДК 621 521
Кузнецов В. И. и др. К 89 Эксплуатация вакуумного оборудования/
Кузнецов В И. , Немилов Н. Ф. , Шемякин В. Е. ; Под
общ. ред. Р.
А. Нилендера. —М: Энергия, 1978. —
208 с, ил.
65 к
В книге кратко рассмотрены основные положения вакуумной
техники Описываются принципы действия, правила и приемы
эксплуатации механических, пароструйных и сорбционных насосов; описываются
наиболее употребительные приборы для измерения давления
разреженных газов и различные элементы вакуумных систем Сообщаются
необходимые сведения по технике течеискания, конструкции и
монтажу вакуумных систем, измерению характеристик вакуумного
оборудования Освещены вопросы техники безопасности
Книга предназначена для лиц, обслуживающих вакуумное
оборудование и имеющих среднее или среднее техническое образование
30407-317 ББК 31. 77
051(01)-78 120'78 6ФО. З
(6) Издательство «Энергия», 1978 г. ПРЕДИСЛОВИЕ
Вакуумная техника, помимо традиционного
применения в производстве электровакуумных приборов,
получила широкое распространение в самых разнообразных
областях науки и техники — от обработки продуктов
питания и изготовления строительных материалов до
имитации космического пространства и проведения
уникальных физических исследований. В результате большое
число работающих привлекается к обслуживанию
вакуумного оборудования. К настоящему времени накоплен большой опыт
проектирования и эксплуатации вакуумного оборудования,
что не нашло должного отражения в научно-технической
литературе. В то же время проведенное в последние
годы перевооружение большинства производств новым
оборудованием требует все более детального изучения
приемов и методов его обслуживания. Целью настоящей
работы явилось обобщенное и упорядоченное изложение
наиболее общих правил эксплуатации вакуумного
оборудования, причем в книге в меньшей степени
рассматриваются принципы построения вакуумных систем и
оборудования, а больше внимания уделяется принципам и
методам работы с вакуумным оборудованием. Основой вакуумной техники являются средства
откачки, поэтому им отведено в книге значительное место. Приведены правила подготовки к эксплуатации и
дальнейшего обслуживания вакуумных насосов. Этому
предпослано краткое описание принципов действия и
физических процессов, обусловливающих работу насосов. На
этой основе даются рекомендации по эксплуатации,
выполнение которых обеспечит поддержание оптимальных
характеристик средств откачки и оборудования. Указывается диапазон возможных изменений основных
вакуумных характеристик насосов в зависимости от режима
работы и условий эксплуатации. В дальнейшем в такой
же последовательности сообщаются общие сведения
3
о вакуумных соединениях, запорной арматуре, ловушках
и средствах измерения давления; описываются наиболее
употребительные в вакуумной технике приемы и методы
отыскания течей и контроля герметичности.