Читать онлайн «Электрофизические методы исследования МДП-структур: Учебно-методические материалы»

М и ни сте р ство о б р а зо ва ни я Ро сси йско й ф е де р а ци и В О РО Н ЕЖ СКИ Й ГО СУ Д АРСТВ ЕН Н Ы Й У Н И В ЕРСИ ТЕТ Ф и зи ческ и й ф ак у л ьтет К а ф едр а ф и зи к и п о луп р о во дни к о в и м и к р о элек т р о ни к и Э Л Е К Т Р О Ф И ЗИ ЧЕ СК И Е М Е Т О ДЫ И ССЛ Е ДО ВА НИ ЯМ ДП-СТ Р У К Т У Р У че б но -ме то ди че ски е ма те р и а лы для студе нто в 4 кур са спе ци а льно сти 014100 “М и кр о эле ктр о ни ка и по лупр о во дни ко вы е пр и б о р ы ” С о ст а ви т ель Е . Н . Бо р м о нт о в В О РО Н ЕЖ 2002  Н а сто ящ и е уче б но -ме то ди че ски е ма те р и а лы являю тся до по лне ни е м к уче б но му по со б и ю «Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур » (В о р о не ж . И зд-во В ГУ . 1997), в ко то р о м и зло ж е ны ф и зи че ски е о сно вы те о р и и стр уктур ме та лл- ди эле ктр и к-по лупр о во дни к, ме то ды а на ли за р а вно ве сны х х а р а кте р и сти к и не р а вно ве сны х пр о це ссо в, сво йства и ме то ды и ссле до ва ни я М Д П -стр уктур , со ста вляю щ и х о сно ву эле ме нтно й б а зы тве р до те льно й эле ктр о ни ки . Э ф ф е кти вны м ср е дство м и ссле до ва ни я та ки х стр уктур являю тся эле ктр о ф и зи че ски е ме то ды , а на ли зу и пр а кти че ско й р е а ли за ци и ко то р ы х и по свящ е но на сто ящ е е по со б и е . О со б о е вни ма ни е в по со б и и о б р а щ е но на ко р р е ктно стьпр и ме ни мо сти ме то до в и и нте р пр е та ци ю по луча е мы х р е зульта то в, по ско льку о б е спе чи ва я вы со кую чувстви те льно сть, эле ктр о ф и зи че ски е и зме р е ни я да ю тли ш ько све нную и нф о р ма ци ю о б и ссле дуе мо м о б ъе кте . М а те р и а лы по со б и я по дго то вле ны для пр а кти че ски х за няти й по спе цкур са м «Ф и зи ка М Д П -стр уктур » и «М Д П -пр и б о р ы », ко то р ы е чи та ю тся для студе нто в, о б уча ю щ и х ся по спе ци а льно сти «М и кр о эле ктр о ни ка и по лупр о во дни ко вы е пр и б о р ы », о дна ко мо гут пр е дста влять и нте р е с и для студе нто в др уги х ф и зи че ски х спе ци а льно сте й. П е ча та е тся по р е ш е ни ю Н М С ф и зи че ско го ф а культе та о т26 де ка б р я 2001г. 2  Р А БО Т А № 1 И ЗУ ЧЕ НИ Е М ДП СТ Р У К Т У Р М Е Т О ДО М Р А ВНО ВЕ СНЫ Х ВЧ ВФ Х Т Е О Р Е Т И ЧЕ СК А Я ЧА СТ Ь Ра зви ти е пла на р но й те х но ло ги и пр и ве ло к со зда ни ю стр уктур ти па ме та лл – ди эле ктр и к – по лупр о во дни к (М Д П ) и и зго то вле ни ю на и х о сно ве це ло го кла сса пр и б о р о в с х о р о ш и ми эле ктр и че ски ми па р а ме тр а ми .