Н а зо ви те о сно вны е па р а ме тр ы р а спр е де ле ни я и о нно -и мпла нти р о ва нно й
пр и ме си . Ка ки м о б р а зо м о ни о пр е де ляю тся?
8. Н а зо ви те х а р а кте р ны е пр о ф и ли р а спр е де ле ни я пр и ме си пр и
ди ф ф узи о нно й за го нке и р а зго нке . Ч то по ни ма е тся по д ди ф ф узи о нно й дли но й?
9. Ч е м о пр е де ляе тся р а зр е ш е ни е во льт-ф а р а дно го ме то да по ко о р ди на те ?
10. П о лучи те кр и те р и й для о це нки ни ж не го пр е де ла ко нце нтр а ци и и о нно -
и мпла нти р о ва нно й пр и ме си , на чи на я с ко то р о й не учёт по пр а вки Ке нне ди -
О 'Бр а йе на мо ж е т пр и ве сти к о ш и б ке , пр е вы ш а ю щ е й 4% в пр е дпо ло ж е ни и
га уссо ва р а спр е де ле ни я, е сли ∆R p = 0,06 мкм. Л И ТЕР А ТУР А
1. Бо р мо нто в Е. Н . Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур . -В о р о не ж , 1997. -
C. 80-88.
2. П а вло в Л . П . М е то ды и зме р е ни я па р а ме тр о в по лупр о во дни ко вы х
ма те р и а ло в. -М . , 1987. - C. 172-181.
3. Ба та ви н В . В . , Ко нце во й В . А. , Ф е до р о ви ч Ю . В . И зме р е ни е па р а ме тр о в
по лупр о во дни ко вы х ма те р и а ло в и стр уктур .
-М . , 1985. - C. 82-97.
4. Ре мб е за С. И . М е то ды и зме р е ни я о сно вны х па р а ме тр о в по лупр о во дни ко в.
-В о р о не ж , 1989. - C. 63-67.
5. М О П -СБИ С. М о де ли р о ва ни е эле ме нто в и те х но ло ги че ски х пр о це ссо в /
П о д р е д. П . Анто не тти . -М . , 1988. - C. 114-130.
6. Ри ссе л Х . , Ругге И . И о нна я и мпла нта ци я. -М . , 1983. - 425 с. Со ста ви те ль: Бо р мо нто в Евге ни й Н и ко ла е ви ч
Ре да кто р : Ти х о ми р о ва О льга Але кса ндр о вна
27