Материал соответствует Государственному образовательному стандарту по специальности 010400 ''Физика''. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления и, в частности, микроструктур из тонких ВТСП пленок для изготовления элементов сверхпроводящей криоэлектроники. Может быть использован студентами других специальностей Книга «Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур: Лабораторный практикум» авторов С...
Материал соответствует Государственному образовательному стандарту по специальности 010400 ''Физика''. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления и, в частности, микроструктур из тонких ВТСП пленок для изготовления элементов сверхпроводящей криоэлектроники. Может быть использован студентами других специальностей Книга «Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур: Лабораторный практикум» авторов Сычев С.А., Серопян Г.М., Позыгун И.С., Семочкин В.В. оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий