Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Описание книги
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование. Книга «Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем» авторов Романов А.С., Мокеев О.К. оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг сос...
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование. Книга «Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем» авторов Романов А.С., Мокеев О.К. оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
- Просмотров: 117
- Рецензий: 0
- Переводчики: не указаны
- Серия: не указана
- ISBN (EAN): не указаны
- Языки: не указаны
- Возрастное ограничение: не указано
- Год написания: не указан
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий